VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4 Coating/Glass: 24 hr after UV/Ozone treatment (35 TOA, mesh)
1

NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1

Si3N4 Coating/Glass: 24 hr after UV/Ozone treatment (35 TOA, mesh)
2003
5
10
15
46
26
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
4
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2202
55
13658
0.0603073
0.397444
626
0.397444
645
0.396009
574
0.394583
577
0.393166
623
0.391757
552
0.390357
596
0.388966
552
0.387583
569
0.386209
555
0.384843
588
0.383485
589
0.382135
615
0.380794
577
0.37946
591
0.378135
609
0.376817
597
0.375508
622
0.374206
595
0.372911
606
0.371625
615
0.370346
611
0.369075
564
0.367811
605
0.366554
622
0.365305
605
0.364063
599
0.362828
613
0.361601
659
0.36038
646
0.359167
623
0.35796
626
0.356761
644
0.355568
638
0.354383
619
0.353204
611
0.352031
604
0.350866
651
0.349706
696
0.348554
630
0.347408
668
0.346268
693
0.345135
665
0.344008
703
0.342888
643
0.341773
668
0.340665
627
0.339563
669
0.338468
707
0.337378
715
0.336294
658
0.335216
673
0.334144
659
0.333078
690
0.332018
705
0.330963
686
0.329914
690
0.328871
708
0.327834
701
0.326802
706
0.325776
726
0.324755
739
0.32374
729
0.32273
730
0.321725
721
0.320726
779
0.319732
744
0.318744
720
0.31776
736
0.316782
727
0.315809
731
0.314841
760
0.313879
768
0.312921
741
0.311968
829
0.31102
787
0.310077
810
0.309139
795
0.308206
795
0.307278
836
0.306354
802
0.305435
789
0.304521
839
0.303612
870
0.302707
824
0.301807
837
0.300911
833
0.30002
894
0.299134
858
0.298252
898
0.297374
829
0.296501
859
0.295632
828
0.294768
856
0.293908
864
0.293052
891
0.2922
866
0.291353
887
0.29051
980
0.289671
955
0.288836
994
0.288006
940
0.287179
1006
0.286357
1092
0.285538
1069
0.284724
995
0.283913
985
0.283106
932
0.282304
969
0.281505
928
0.28071
972
0.279919
943
0.279132
940
0.278348
886
0.277569
884
0.276793
898
0.276021
874
0.275252
908
0.274487
929
0.273726
933
0.272968
1030
0.272214
1134
0.271464
1149
0.270717
1288
0.269973
1352
0.269233
1380
0.268497
1447
0.267764
1195
0.267034
1096
0.266308
1067
0.265585
946
0.264866
908
0.26415
822
0.263437
803
0.262727
772
0.262021
699
0.261318
648
0.260618
686
0.259922
650
0.259228
590
0.258538
544
0.257851
528
0.257167
568
0.256486
577
0.255808
606
0.255134
578
0.254462
595
0.253793
547
0.253128
544
0.252465
547
0.251805
557
0.251149
594
0.250495
535
0.249844
585
0.249196
552
0.248551
597
0.247909
564
0.247269
601
0.246633
579
0.245999
638
0.245368
527
0.24474
598
0.244114
595
0.243492
607
0.242872
589
0.242254
608
0.24164
594
0.241028
643
0.240418
596
0.239812
601
0.239208
611
0.238606
576
0.238007
621
0.237411
612
0.236817
610
0.236226
590
0.235637
633
0.235051
625
0.234467
577
0.233886
662
0.233308
590
0.232731
676
0.232157
606
0.231586
613
0.231017
595
0.23045
628
0.229886
630
0.229324
655
0.228765
644
0.228208
664
0.227653
596
0.2271
624
0.22655
631
0.226002
679
0.225456
643
0.224913
672
0.224372
623
0.223833
665
0.223296
648
0.222761
598
0.222229
664
0.221699
682
0.221171
633
0.220645
666
0.220121
671
0.219599
684
0.21908
634
0.218563
684
0.218047
679
0.217534
699
0.217023
665
0.216514
688
0.216007
656
0.215502
667
0.214999
612
0.214498
661
0.213999
679
0.213502
710
0.213007
720
0.212514
662
0.212022
686
0.211533
731
0.211046
702
0.210561
685
0.210077
715
0.209596
719
0.209116
706
0.208638
688
0.208163
697
0.207688
711
0.207216
654
0.206746
699
0.206277
684
0.205811
721
0.205346
715
0.204883
701
0.204422
736
0.203962
722
0.203504
708
0.203048
714
0.202594
699
0.202141
733
0.201691
718
0.201242
797
0.200794
740
0.200349
731
0.199905
737
0.199462
731
0.199022
750
0.198583
701
0.198146
794
0.19771
767
0.197276
835
0.196844
805
0.196413
732
0.195984
767
0.195556
774
0.19513
728
0.194706
787
0.194283
812
0.193862
771
0.193443
747
0.193024
770
0.192608
782
0.192193
762
0.19178
822
0.191368
767
0.190957
782
0.190548
795
0.190141
836
0.189735
862
0.189331
843
0.188928
838
0.188526
850
0.188126
835
0.187728
896
0.18733
865
0.186935
836
0.18654
779
0.186148
859
0.185756
832
0.185366
879
0.184978
834
0.18459
852
0.184205
875
0.18382
802
0.183437
916
0.183055
849
0.182675
813
0.182296
849
0.181918
857
0.181542
813
0.181167
873
0.180793
850
0.180421
828
0.18005
883
0.17968
845
0.179312
881
0.178945
883
0.178579
937
0.178214
914
0.177851
908
0.177489
940
0.177128
959
0.176769
854
0.176411
910
0.176054
847
0.175698
909
0.175343
919
0.17499
964
0.174638
896
0.174287
889
0.173937
921
0.173589
924
0.173242
938
0.172896
956
0.172551
989
0.172207
893
0.171864
931
0.171523
1027
0.171183
938
0.170844
973
0.170506
1002
0.170169
951
0.169833
947
0.169499
959
0.169165
936
0.168833
993
0.168502
976
0.168172
1031
0.167843
1013
0.167515
1019
0.167189
980
0.166863
961
0.166538
1007
0.166215
995
0.165893
1032
0.165571
1043
0.165251
1043
0.164932
1058
0.164614
1088
0.164297
1019
0.163981
1059
0.163666
1062
0.163352
976
0.163039
1080
0.162727
1064
0.162416
1029
0.162106
1009
0.161797
1001
0.161489
1072
0.161182
1022
0.160877
1107
0.160572
1119
0.160268
1054
0.159965
1076
0.159663
1143
0.159362
1086
0.159062
1075
0.158763
1125
0.158465
1052
0.158168
1115
0.157872
1138
0.157577
1121
0.157283
1074
0.156989
1092
0.156697
1059
0.156406
1159
0.156115
1138
0.155825
1165
0.155537
1189
0.155249
1129
0.154962
1140
0.154676
1140
0.154391
1113
0.154107
1144
0.153824
1187
0.153542
1135
0.15326
1172
0.15298
1170
0.1527
1214
0.152421
1208
0.152143
1200
0.151866
1227
0.15159
1262
0.151315
1194
0.15104
1162
0.150767
1205
0.150494
1140
0.150222
1215
0.149951
1268
0.149681
1171
0.149411
1281
0.149143
1239
0.148875
1248
0.148608
1286
0.148342
1277
0.148077
1264
0.147812
1301
0.147548
1281
0.147285
1367
0.147023
1233
0.146762
1212
0.146502
1320
0.146242
1321
0.145983
1319
0.145725
1288
0.145468
1364
0.145211
1329
0.144955
1305
0.1447
1360
0.144446
1286
0.144193
1315
0.14394
1310
0.143688
1346
0.143437
1364
0.143186
1358
0.142937
1381
0.142688
1384
0.142439
1425
0.142192
1419
0.141945
1483
0.141699
1392
0.141454
1332
0.141209
1344
0.140965
1342
0.140722
1385
0.14048
1369
0.140238
1410
0.139997
1367
0.139757
1455
0.139518
1482
0.139279
1420
0.139041
1375
0.138803
1408
0.138566
1493
0.13833
1437
0.138095
1459
0.13786
1410
0.137626
1535
0.137393
1567
0.13716
1508
0.136928
1464
0.136697
1452
0.136466
1520
0.136236
1472
0.136007
1489
0.135779
1536
0.135551
1501
0.135323
1525
0.135097
1623
0.134871
1568
0.134645
1562
0.13442
1567
0.134196
1542
0.133973
1574
0.13375
1599
0.133528
1628
0.133306
1630
0.133085
1646
0.132865
1567
0.132645
1574
0.132426
1623
0.132208
1675
0.13199
1616
0.131773
1569
0.131556
1670
0.13134
1742
0.131125
1614
0.13091
1723
0.130696
1638
0.130483
1656
0.13027
1715
0.130057
1676
0.129846
1650
0.129634
1724
0.129424
1682
0.129214
1724
0.129004
1768
0.128795
1724
0.128587
1789
0.12838
1796
0.128172
1722
0.127966
1789
0.12776
1787
0.127555
1780
0.12735
1844
0.127145
1843
0.126942
1809
0.126739
1884
0.126536
1876
0.126334
1814
0.126132
1787
0.125931
1862
0.125731
1872
0.125531
1844
0.125332
1919
0.125133
1876
0.124935
1849
0.124737
1937
0.12454
1898
0.124344
1991
0.124147
1915
0.123952
1928
0.123757
1877
0.123562
2049
0.123368
1983
0.123175
1976
0.122982
1963
0.12279
2037
0.122598
2006
0.122406
2052
0.122215
1903
0.122025
2021
0.121835
2049
0.121646
1950
0.121457
2105
0.121269
2140
0.121081
2126
0.120893
2171
0.120707
2205
0.12052
2247
0.120334
2214
0.120149
2178
0.119964
2175
0.11978
2167
0.119596
2193
0.119412
2201
0.119229
2149
0.119047
2224
0.118865
2308
0.118683
2130
0.118502
2207
0.118322
2215
0.118142
2166
0.117962
2186
0.117783
2166
0.117604
2092
0.117426
2149
0.117248
2204
0.117071
2174
0.116894
2293
0.116718
2372
0.116542
2431
0.116366
2517
0.116191
2636
0.116017
2612
0.115843
2700
0.115669
2641
0.115496
2752
0.115323
2717
0.115151
2556
0.114979
2567
0.114807
2487
0.114636
2302
0.114466
2238
0.114295
2203
0.114126
2183
0.113956
2154
0.113788
1960
0.113619
1903
0.113451
1836
0.113284
1760
0.113116
1531
0.11295
1513
0.112783
1548
0.112617
1494
0.112452
1557
0.112287
1685
0.112122
2274
0.111958
5213
0.111794
12194
0.111631
13658
0.111468
6462
0.111305
2578
0.111143
1683
0.110981
1494
0.11082
1454
0.110659
1521
0.110498
1380
0.110338
1386
0.110178
1326
0.110019
1361
0.10986
1341
0.109701
1383
0.109543
1417
0.109385
1385
0.109228
1354
0.109071
1382
0.108914
1424
0.108758
1342
0.108602
1371
0.108447
1410
0.108292
1401
0.108137
1352
0.107982
1398
0.107829
1390
0.107675
1425
0.107522
1355
0.107369
1370
0.107216
1399
0.107064
1446
0.106912
1528
0.106761
1409
0.10661
1438
0.106459
1387
0.106309
1434
0.106159
1497
0.10601
1395
0.105861
1441
0.105712
1505
0.105563
1401
0.105415
1451
0.105267
1471
0.10512
1496
0.104973
1491
0.104826
1496
0.10468
1439
0.104534
1455
0.104388
1453
0.104243
1451
0.104098
1440
0.103953
1556
0.103809
1528
0.103665
1409
0.103522
1431
0.103378
1470
0.103235
1433
0.103093
1486
0.102951
1510
0.102809
1557
0.102667
1531
0.102526
1567
0.102385
1528
0.102245
1593
0.102104
1578
0.101964
1521
0.101825
1628
0.101686
1479
0.101547
1539
0.101408
1506
0.10127
1543
0.101132
1552
0.100994
1598
0.100857
1618
0.10072
1604
0.100583
1508
0.100447
1538
0.100311
1543
0.100175
1597
0.10004
1598
0.0999048
1584
0.09977
1610
0.0996356
1581
0.0995014
1582
0.0993676
1550
0.099234
1598
0.0991008
1702
0.0989679
1555
0.0988353
1667
0.098703
1554
0.098571
1698
0.0984393
1615
0.0983079
1630
0.0981767
1643
0.0980459
1607
0.0979154
1635
0.0977852
1648
0.0976553
1574
0.0975257
1548
0.0973964
1536
0.0972674
1547
0.0971386
1645
0.0970102
1491
0.096882
1501
0.0967542
1556
0.0966266
1541
0.0964993
1569
0.0963723
1626
0.0962456
1618
0.0961192
1718
0.095993
1717
0.0958672
1752
0.0957416
1798
0.0956163
1771
0.0954913
1774
0.0953666
1727
0.0952421
1623
0.095118
1657
0.0949941
1498
0.0948704
1531
0.0947471
1435
0.094624
1378
0.0945012
1264
0.0943787
1243
0.0942564
1156
0.0941345
1039
0.0940128
1034
0.0938913
963
0.0937701
924
0.0936492
901
0.0935286
933
0.0934082
1026
0.0932881
1036
0.0931683
1381
0.0930487
3132
0.0929294
6331
0.0928103
5296
0.0926915
2037
0.092573
1035
0.0924547
894
0.0923367
889
0.092219
770
0.0921015
834
0.0919842
772
0.0918672
822
0.0917505
826
0.091634
791
0.0915178
827
0.0914018
833
0.0912861
792
0.0911707
836
0.0910554
774
0.0909405
819
0.0908257
825
0.0907113
796
0.090597
841
0.0904831
784
0.0903693
855
0.0902558
871
0.0901426
812
0.0900296
841
0.0899168
834
0.0898043
807
0.089692
811
0.08958
832
0.0894682
828
0.0893567
840
0.0892453
870
0.0891343
852
0.0890234
825
0.0889128
865
0.0888024
854
0.0886923
866
0.0885824
883
0.0884727
821
0.0883633
904
0.0882541
840
0.0881451
920
0.0880364
861
0.0879279
880
0.0878196
947
0.0877115
858
0.0876037
895
0.0874961
897
0.0873887
885
0.0872815
870
0.0871746
957
0.0870679
899
0.0869614
912
0.0868552
900
0.0867492
987
0.0866434
893
0.0865378
874
0.0864324
867
0.0863272
885
0.0862223
889
0.0861176
976
0.0860131
960
0.0859088
920
0.0858048
947
0.0857009
977
0.0855973
954
0.0854939
933
0.0853907
1057
0.0852877
942
0.0851849
955
0.0850824
949
0.08498
875
0.0848779
988
0.0847759
1045
0.0846742
968
0.0845727
1029
0.0844714
1015
0.0843703
1000
0.0842694
969
0.0841688
970
0.0840683
1071
0.083968
1038
0.0838679
1025
0.0837681
985
0.0836684
1070
0.083569
1034
0.0834697
1051
0.0833707
1015
0.0832718
1062
0.0831732
1085
0.0830747
1093
0.0829765
1049
0.0828784
1053
0.0827806
1058
0.0826829
1084
0.0825855
1128
0.0824882
1043
0.0823912
1085
0.0822943
1059
0.0821976
1047
0.0821012
1030
0.0820049
990
0.0819088
953
0.0818129
1032
0.0817172
962
0.0816217
961
0.0815264
986
0.0814312
1065
0.0813363
1125
0.0812415
1165
0.081147
1468
0.0810526
1962
0.0809584
2772
0.0808644
2309
0.0807706
1230
0.080677
1011
0.0805835
998
0.0804903
956
0.0803972
986
0.0803043
928
0.0802116
933
0.0801191
988
0.0800268
970
0.0799346
947
0.0798427
999
0.0797509
1022
0.0796593
1008
0.0795678
984
0.0794766
1007
0.0793855
996
0.0792946
1053
0.0792039
1003
0.0791134
983
0.079023
934
0.0789329
905
0.0788429
979
0.078753
947
0.0786634
1016
0.0785739
996
0.0784846
1022
0.0783955
985
0.0783065
1031
0.0782177
994
0.0781291
1015
0.0780407
1009
0.0779524
1012
0.0778643
1006
0.0777764
1078
0.0776886
1028
0.0776011
1030
0.0775136
1029
0.0774264
1044
0.0773393
979
0.0772524
1057
0.0771657
1066
0.0770791
1043
0.0769927
1055
0.0769064
1116
0.0768203
1061
0.0767344
1040
0.0766487
1072
0.0765631
1093
0.0764777
1103
0.0763924
1083
0.0763073
1107
0.0762224
1090
0.0761376
1091
0.076053
1142
0.0759685
1121
0.0758842
1129
0.0758001
1081
0.0757162
1078
0.0756323
1099
0.0755487
1090
0.0754652
1151
0.0753819
1073
0.0752987
1116
0.0752157
1153
0.0751328
1201
0.0750501
1155
0.0749675
1118
0.0748852
1164
0.0748029
1070
0.0747208
1122
0.0746389
1161
0.0745571
1190
0.0744755
1133
0.074394
1174
0.0743127
1170
0.0742315
1235
0.0741505
1154
0.0740697
1240
0.073989
1199
0.0739084
1242
0.073828
1240
0.0737477
1250
0.0736676
1267
0.0735877
1188
0.0735078
1218
0.0734282
1280
0.0733487
1251
0.0732693
1206
0.0731901
1248
0.073111
1211
0.0730321
1265
0.0729533
1267
0.0728746
1279
0.0727961
1281
0.0727178
1267
0.0726396
1280
0.0725615
1222
0.0724836
1240
0.0724059
1201
0.0723282
1252
0.0722507
1349
0.0721734
1334
0.0720962
1363
0.0720191
1387
0.0719422
1437
0.0718654
1522
0.0717888
1467
0.0717123
1513
0.0716359
1514
0.0715597
1499
0.0714836
1414
0.0714077
1358
0.0713319
1374
0.0712562
1258
0.0711807
1257
0.0711053
1204
0.07103
1250
0.0709549
1098
0.0708799
1043
0.0708051
1075
0.0707304
922
0.0706558
874
0.0705814
884
0.0705071
876
0.0704329
915
0.0703588
892
0.0702849
1146
0.0702112
1710
0.0701375
2991
0.070064
4582
0.0699906
4952
0.0699174
3196
0.0698443
1744
0.0697713
1161
0.0696984
944
0.0696257
925
0.0695531
835
0.0694807
814
0.0694083
801
0.0693361
743
0.0692641
775
0.0691921
757
0.0691203
740
0.0690486
716
0.068977
689
0.0689056
686
0.0688343
678
0.0687631
680
0.0686921
729
0.0686211
710
0.0685503
735
0.0684796
739
0.0684091
736
0.0683386
773
0.0682683
785
0.0681982
806
0.0681281
863
0.0680582
930
0.0679883
905
0.0679187
872
0.0678491
847
0.0677796
806
0.0677103
758
0.0676411
741
0.067572
716
0.0675031
647
0.0674342
607
0.0673655
552
0.0672969
491
0.0672284
452
0.0671601
404
0.0670918
349
0.0670237
331
0.0669557
293
0.0668878
264
0.06682
251
0.0667524
224
0.0666849
274
0.0666174
588
0.0665501
1866
0.066483
4128
0.0664159
4602
0.0663489
2458
0.0662821
645
0.0662154
262
0.0661488
177
0.0660823
212
0.0660159
199
0.0659496
168
0.0658835
193
0.0658175
181
0.0657515
179
0.0656857
184
0.06562
174
0.0655545
162
0.065489
171
0.0654236
171
0.0653584
178
0.0652932
184
0.0652282
165
0.0651633
185
0.0650985
206
0.0650338
177
0.0649692
175
0.0649048
190
0.0648404
190
0.0647761
183
0.064712
196
0.064648
182
0.064584
190
0.0645202
204
0.0644565
154
0.0643929
184
0.0643294
172
0.064266
197
0.0642027
198
0.0641396
163
0.0640765
171
0.0640135
186
0.0639507
173
0.0638879
179
0.0638253
182
0.0637628
179
0.0637003
177
0.063638
178
0.0635758
212
0.0635136
194
0.0634516
192
0.0633897
188
0.0633279
207
0.0632662
181
0.0632046
179
0.0631431
199
0.0630817
222
0.0630204
225
0.0629592
226
0.0628981
212
0.0628371
196
0.0627762
226
0.0627155
219
0.0626548
237
0.0625942
187
0.0625337
205
0.0624733
196
0.062413
174
0.0623528
179
0.0622928
173
0.0622328
203
0.0621729
156
0.0621131
166
0.0620534
218
0.0619938
209
0.0619343
201
0.0618749
218
0.0618156
251
0.0617564
291
0.0616973
397
0.0616383
517
0.0615794
567
0.0615206
477
0.0614619
328
0.0614032
220
0.0613447
203
0.0612863
261
0.0612279
253
0.0611697
206
0.0611115
147
0.0610535
103
0.0609955
133
0.0609377
132
0.0608799
179
0.0608222
226
0.0607647
211
0.0607072
195
0.0606498
193
0.0605925
196
0.0605353
182
0.0604781
141
0.0604211
95
0.0603642
55
0.0603073
end of experiment
